- 面议
参考价：
起订量：
SES系列 8英寸多片硅外延系统
- 型号
- SES系列
该企业相似产品
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
SES系列 8英寸多片硅外延系统为单腔多片式硅外延设备，适用于4、5、6、8英寸的硅外延工艺。SES系列反应腔室采用多片平板式的结构，配合感应加热的方式实现高质量的外延薄膜生长，适用于厚度5-150µm范围的外延工艺，精确可调N型、P型掺杂。该设备智能化人机交互设计与高效的安全互锁保障了系统安全和稳定。
2. 设备用途/原理
SES系列 8英寸多片硅外延系统，适用于 5-150 微米范围的硅外延工艺，先进的感应加热和气流场技术提供了优良稳定的工艺性能，多片平板式设计，高容载量，自动化程度高、产能高、低运营成本。
3. 设备特点
晶圆尺寸 4、5、6、8 英寸，适用材料 硅，适用工艺 N&P 硅外延，适用域 科研、集成电路。
