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Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统
- 型号
- Esther/Eris 系列
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详细信息
1. 产品概述
Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统，传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途，友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效，具有单腔和多腔两种机型，可满足不同客户需求。
2. 设备用途/原理
Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统，Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统，传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途。友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效，具有单腔和多腔两种机型，可满足不同客户需求。
3. 设备特点
晶圆尺寸 6、8 英寸，适用材料 硅，适用工艺 常压：N&P 常压硅外延，减压：埋层外延、选择性外延、多晶外延，适用域 科研、集成电路。
