1. 产品概述

MARS iCE120 多片碳化硅外延系统，产能大，6 英寸运营成本低。

2. 设备用途/原理

MARS iCE120 多片碳化硅外延系统，产能大，6 英寸运营成本低。薄膜和厚膜外延兼容，工艺稳定性高。具备多层外延能力。气流场和加热场设计，工艺性能优异。可靠的压力控制系统，成膜质量均一性好。兼容 8 英寸。

3. 设备特点

晶圆尺寸 6、8 英寸，适用材料 碳化硅 SiC，适用工艺 N&P 碳化硅外延，适用域 科研、化合物半导体。碳化硅外延晶片‌主要用于以下几个方面：‌射频器件‌：用于‌5G基站、‌城际高速铁路、‌新能源汽车充电桩等。‌‌电力电子器件‌：用于电动汽车，提高续航能力。‌功率电子器件‌：如‌功率MOSFET、‌Schottky二极管等。‌‌光电子器件‌：用于‌光通信、‌激光二极管和‌光传感器等。碳化硅外延晶片在具体领域的应用，‌5G基站建设‌：碳化硅晶片作为5G芯片的理想衬底，可以减小设备体积，降低能量损耗，增加设备在恶劣环境下的可靠性。‌新能源汽车‌：用于电动汽车的电力电子器件，提高续航能力约10%。