$item.Name

首页>半导体行业专用仪器>干法工艺设备>等离子体刻蚀设备

RIE-230iPC 等离子体(ICP) 刻蚀设备

型号
RIE-230iPC
深圳市矢量科学仪器有限公司

中级会员3年 

经销商

该企业相似产品

深硅刻蚀机

在线询价

深硅刻蚀机

在线询价

等离子刻蚀集群系统

在线询价

AL实时监控器

在线询价

RIE等离子刻蚀系统

在线询价

等离子刻蚀系统RIE

在线询价

RIE等离子蚀刻系统

在线询价

低温ICP-RIE等离子体刻蚀系统

在线询价
冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

 

 

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额


ICP-RIE等离子体蚀刻设备 RIE-230iPC

量产设备


概要

RIE-230iPC是以电感耦合等离子体为放电方式,高速进行各种材料的超精细加工的盒式ICP蚀刻系统。该系统通过采用龙卷风式线圈电,高效地产生稳定的高密度等离子体,实现了对硅、各种金属薄膜和化合物半导体的高精度各向异性蚀刻。此外,ø230mm的托盘可同时处理多种化合物半导体。

主要特点和优点



  • 龙卷风线圈电

  •  它能有效地产生稳定的高密度等离子体,使蚀刻具有高选择性、高精度和良好的均匀性。

  • 低损伤工艺

  •  通过ICP产生高密度的等离子体,实现了低偏置、低损伤的工艺。

  • 温度控制

  •  电调和He冷却的平台和反应室内侧壁的温度控制使蚀刻在稳定的条件下进行

应用

  • GaN、GaAs、InP等化合物半导体的高精度加工。

  • 铁电材料和电材料的加工。




相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :