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SENTECH 集群系统 等离子刻蚀集群系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述
SENTECH 集群系统包括等离子体蚀刻和/或沉积模块、一个转移室和一个真空负载锁或盒式站。包括搬运机器人在内的转移室有三到六个端口。多可以使用两个盒式磁带站来提高吞吐量。
2. 主要功能与优势
高产量和高通量
等离子蚀刻和沉积模块可以与多达两个盒式工作站结合使用,以提高可重复性、高产量和高吞吐量处理高达 200 毫米的晶圆。
灵活的流程配置
三到六个端口转移室可用于聚集ICP等离子蚀刻系统、RIE蚀刻系统、原子层沉积系统和ICPECVD沉积工具,以满足研发和生产的要求。样品可以通过真空装载锁和/或真空盒站进行装载。
灵活的承运商处理
SENTECH集群配置适用于处理不同尺寸的晶圆,无需更改硬件,使用允许He-back-backing冷却的载体。不同间距的晶圆盒也是可以互换的
3. 灵活性和模块化
SENTECH 集群配置可用于处理直径从 100 毫米晶圆到直径达 200 毫米的各种基板。
这些系统提供不同别的自动化,从真空盒装载到多六端口集群配置的单工艺腔室,不同的蚀刻和沉积模块提供高灵活性和高吞吐量。
所有SENTECH集群系统均由先进的硬件和SIA操作软件控制,具有客户端-服务器架构。一个经过充分验证的可靠可编程逻辑控制器(PLC)用于所有组件的实时控制。