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SENTECH Etchlab 200 RIE RIE等离子蚀刻系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
SENTECH Etchlab 200 RIE等离子蚀刻系统代表了一系列直接加载等离子体蚀刻系统,结合了RIE平行板电设计的优点和直接负载的成本效益设计。
2. 主要功能与优势:
成本效益
该系统将平行板等离子体源设计与直接负载相结合.
3. 可升性
根据其模块化设计,SENTECH Etchlab 200 RIE系统可升为终点检测、更大的泵送装置、真空负载锁和额外的气体管线。
4. SENTECH控制软件
该系统配备了用户友好的强大软件,具有图形用户界面、参数窗口、配方编辑器、数据记录、用户管理。
5. 灵活性和模块化
SENTECH Etchlab 200 RIE等离子蚀刻系统可以配置为处理与晶圆直接加载兼容的材料,包括但不限于硅和硅化合物、化合物半导体、电介质以及聚合物和金属。
SENTECH Etchlab 200 RIE等离子蚀刻系统由先进的硬件和SIA操作软件控制,具有客户端-服务器架构。一个经过充分验证的可靠可编程逻辑控制器(PLC)用于所有组件的实时控制。
SENTECH Etchlab 200 RIE等离子蚀刻系统代表了一系列直接加载等离子体蚀刻系统,结合了RIE平行板电设计的优点和直接负载的成本效益设计。