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SENTECH SI 591 等离子刻蚀系统RIE
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
SENTECH SI 591 紧凑型 RIE 等离子蚀刻系统具有负载锁定功能,是氯基和氟基 RIE 的紧凑型解决方案。具有出色的工艺可重复性和等离子蚀刻工艺灵活性,这得益于真空负载锁定和由计算机控制的等离子体蚀刻工艺条件。灵活性、模块化和小尺寸是 SENTECH SI 591 compact 的设计特点。可以装载直径达 200 mm 的样品和载体。该系统可以配置为穿墙操作或具有多种选项的小占地面积。
2. 主要功能与优势:
流程灵活性
SENTECH SI 591 紧凑型 RIE 等离子蚀刻系统有助于大量基于氯和氟的等离子体蚀刻工艺。
占地面积小,模块化程度高
该系统可以配置为单个反应器,也可以配置为具有盒到盒装载的集群工具。单反应器的配置是在系统上方有一个负载锁,以小化占地面积,或者有一个负载锁,用于穿墙安装。
3. SENTECH控制软件
SENTECH 等离子蚀刻工具包括用户友好的强大软件,带有 GUI、参数窗口、配方编辑器、数据记录和用户管理。
等离子蚀刻系统具有负载锁定功能,是氯基和氟基 RIE 的紧凑型解决方案。具有出色的工艺可重复性和等离子蚀刻工艺灵活性,这得益于真空负载锁定和由计算机控制的等离子体蚀刻工艺条件。灵活性、模块化和小尺寸是 SENTECH SI 591 compact 的设计特点。可以装载直径达 200 mm 的样品和载体。该系统可以配置为穿墙操作或具有多种选项的小占地面积。