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Kessel® Pishow® M 8英寸金属刻蚀设备
- 型号
- Kessel® Pishow® M
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 系统特性
Kessel® Pishow® M 金属刻蚀设备是面向8英寸集成电路制造的量产型设备
设备由电感耦合等离子体刻蚀腔（ICP etch chamber）、去胶腔（stripchamber）、冷却腔（cooling chamber）、传输模块（transfer module）构成适用于0.11微米及其它技术代的铝垫刻蚀及钨回刻（W Recess）工艺也可换用6英寸ESC。
2. 工艺数据
铝垫刻蚀
铝线工艺
钨塞刻蚀
3. 详细介绍
Kessel™ Pishow® M 金属刻蚀设备为可用于8英寸的IC产线铝金属工艺的量产型机台，基于自有开发的优化设计，保证了优异的刻蚀均匀性（片内<8%，片间<5%）和颗粒控制。在4微米厚铝刻蚀工艺中，可以提供8000片/月的产能。
该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率，可为客户产能升提供帮助。
