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Pishow® A 系列 8英寸电感耦合等离子体刻蚀设备

型号
Pishow® A 系列
深圳市矢量科学仪器有限公司

中级会员3年 

经销商

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

Pishow® A 系列

8英寸电感耦合等离子体刻蚀(ICP)设备 

1. 详细介绍

ICP是一种加工微纳结构的等离子刻蚀技术。具有刻蚀快、选择比高、各项异性高、刻蚀损伤小、均匀性好、断面轮廓可控性高、刻蚀表面平整度高等优点。目被广泛应用于Si、SiO2、SiNx、金属、III-V族化合物等材料的刻蚀。可应用于大规模集成电路、MEMS、光波导、光电子器件等域中各种微结构的制作。

2. 系统特性

拥有多种材料刻蚀解决方案,包括硅基材料、金属、III-V和其他化合物半导体

可提供高低温(-10℃至+150℃)工艺模式

可提供ALE解决方案,实现对刻蚀速率和均匀性的高精度控制

具备Bosch工艺能力,可提供高深宽比硅深槽或深孔刻蚀解决方案

适用于8英寸晶圆,并可向下兼容,提供单腔式和多腔式等多种腔室搭配方式        



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