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Savannah 原子层沉积ALD
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述
Savannah®配备了高速气动脉冲阀,以实现我们的曝光模式™,用于在超高宽宽比基板上沉积薄膜。这种经过验证的精密薄膜镀膜方法可用于在纵横比大于 2000:1 >基板上沉积保形、均匀的薄膜。Savannah® 提供三种配置:S100、S200 和 S300。Savannah® 能够容纳不同尺寸的基材(S300 可达 300 毫米)。Savannah®薄膜沉积系统配备了加热的驱体线,并可选择添加多达六条线。Savannah® 能够处理气体、液体或固体体。
Veeco 原子层沉积 (ALD) 系统供应商,为研究和工业提供全面的服务和多功能的交钥匙系统,这些系统易于访问、经济实惠且精确到原子尺度。薄膜沉积是我们的长。我们的 Savannah® 系列薄膜沉积工具就是这些能力的例证。Savannah® 已成为全球从事原子层沉积 (ALD) 的大学研究人员的选系统,他们正在寻找经济实惠且强大的平台。在过去十年中,我们已经交付了数百个这样的系统。Savannah®对驱体的高效利用和节能特性大大降低了薄膜沉积系统的运行成本。
2. 主要功能包括
原位椭圆偏振仪
原位质量控制
自组装单层膜
2循环时间
综合臭氧
低蒸气压沉积
批处理
手套箱集成