原位纳米压痕仪 SEM/AFM/LM

NanoFlip产品既可以工作在真空环境下进行各种原位力学测试；也可以直接在大气环境下测试。NanoFlip可进行硬度和杨氏模量测试、连续刚度测试（CSM）、力学性能谱图（Mapping）、纳米动态力学分析（DMA）、划痕和磨损测试、柱压缩等测试，可同时将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip还可以进行快速压痕测量，这是在惰性环境（如手套箱）中研究非均相材料的重要手段。

原位纳米压痕仪 SEM/AFM/LM

• KLA NanoFlip产品：先进的激发器的结构设计，*实现载荷和位移的分别控制和探测，实现纳米压痕检测，包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。
• 符合ISO14577的国际标准的压痕测试
• NanoFlip动态测试附件是由连续刚度专用技术的发明人研发的：动态力学测试原理为在准静态加载过程中，施加在压头上一个正玄波，从而表征出随着压痕深度、载 荷、时间或者频率的变化材料力学性能的变化。
• NanoBlitz3D技术，提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性，自动生成杨氏模量、硬度和刚度Mapping图，是研究非均相材料研究的重要方法。

硬度和模量测量(Oliver-Pharr）

Nanoflip纳米压痕测量各种材料的硬度和模量，从超软凝胶到硬涂层。

连续刚度测试（CSM）

连续刚度测量用于量化动态材料特性，如应变率和频率诱导效应。NanoFlip纳米压头提供从0.1Hz到1kHz的动态频率，根据深度或频率连续测量接触刚度。

高速材料性能Mapping（3D/4D）

对于复合材料，不同区域的力学性能差异很大。NanoFlip在X轴和Y轴上提供21mm的样品台移动，在Z轴上提供25mm的样品台移动，允许在样品区域上测试大范围高度变化的样品。地形和断层扫描软件可以快速生成任何测量机械性能的彩色谱图。

纳米动态力学分析

聚合物是非常复杂的材料。为了获得聚合物的有用信息，应在相关背景下对相关样品进行机械性能测量。纳米压痕测试使这种测量变得更容易，因为样品可以很小，并且制备所需要的量少。纳米压痕系统可以通过振荡压头与材料接触的方式来测量聚合物的复合模量和粘弹性性能。

定量划痕磨损测试

Nanoflip可以对各种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经过许多加工过程，例如化学和机械抛光（CMP）和金属丝粘合，以测试这些薄膜的强度和它们在基底上的粘附力。对于这些材料来说，在这些过程中抵抗塑性变形并保持完整而不起泡是非常重要的。

相关文献