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原位自动纳米操作系统技术特点
*兼容主流电镜,不影响电镜功能
运动定位性能:行程大、亚纳米分辨率
位移传感器集成自动化和可编程运动
SEM真空环境优化设计,可快速安装与拆卸
原位自动纳米操作系统技术能力
力学测量
LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈,实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕,以及对单根纳米线的拉伸测试。
电学特性
LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量,以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。
拾取和放置操作
使用末端工具(例如:探针、微纳米夹持器、超 声切割针),操作者能够操作LifeForce纳米操 作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和 抓取等操作。
制作微纳米器件
精密的操作手运动能够实现微纳米器 件的快速成型和后处理。实例照片展 示的是纳米线FET传感器的构造。
纳米电子器件电学测量
LifeForce纳米操作机是是市面上能够自动探测电子 结构(范围从亚微米,亚100nm及亚20nm)。只需要通过计算机点击鼠标,将探测针定位到目标位置。低定位漂移,保证数据采集的可靠性。