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定制阵列式压力传感系统
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阵列式压力传感系统
碳化硅SiC长晶设备
由前端柔性阵列式微机电压力感测器及后端软 件界面组成,前端传感器依所承受压力呈现线 性反应变化,压力越大则电导越高,再由后端 软件将接触面压力分布实时呈现并记录,协助 设备进行有效调整校正。
对比传统感应纸成本效益更高,可减少人工成本,提高精度,实时检测生产质量等
传感系统可根据客户现场具体情况定制相应的设备系统,如真空粘接、热压轮压膜机、锡球压平机、机械上下料等传统机械设备以及半导体行业中晶圆清洗、水压分配、刷压分配、高温键合压力检测等
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