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TESCAN LYRA3 FIB-SEM双束电镜是一款集高分辨率 FE-SEM 镜筒和多功能的高性能 Ga 离子源 FIB 于一体的双束扫描电镜，是切割横断面、定位制备高质量TEM样品以及高分辨三维样品重构的选择。同时，大电子束流下的优异分辨率有利于 EDX、WDX、EBSD 等分析应用。LYRA3 满足了当今材料科学和工业的样品表征及微观分析需求。此外，LYRA3 非常适合电子束/离子束光刻、多层微电子器件的电路编辑。高通量、功能强大、易于使用的软件使得用户可以毫不费力地实现复杂的 FIB-SEM 应用操作，如三维重构、连续横断面切割、TEM样品制备以及相关的显微分析等。
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