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TESCAN GAIA3 FIB-SEM双束电镜
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GAIA3 是一款可以挑战纳米设计应用的理想平台,它同时具备高精度及微量分析能力。GAIA3 适用于高质量超薄 TEM 样品制备、在技术节点减少流程、精确的纳米构图或高分辨率的三维重构。
这些特征使得 GAIA3 成为低能电子束成像应用的理想工具,保留易受电子束损坏的样品的精细结构,如低介电常数材料、光阻材料及未涂覆生物样品。在样品改性方面,GAIA3 也代表了挑战纳米加工的适合解决方案。
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