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FERA3 为集成 Xe 等离子源 FIB 和 SEM 的双束扫描电镜，离子束流达 2 µA，因此其溅射速度是传统 Ga 离子源的 50 倍以上，这使得 FERA3 成为完成耗时过长或几乎不可能实现的大体积铣削任务的理想设备。
在 FIB-SEM 系统中，电子和离子束的焦点可以重合，从而可以对多种实际应用进行优化。这一特征使得其在 FIB 铣削任务期间能够同时进行 SEM 成像——这使得在完成*精度要求的 FIB 操作时，性能和吞吐量都有了巨大飞跃。同时，FERA3 配备有高性能的电路系统以用于更快的图像采集，超快速的静态和动态图像畸变补偿扫描系统以及用户自定义内置应用程序脚本等。
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