TESCAN 扫描电镜优异的分辨率非常有利于 EDS、WDS 及 EBSD 成分分析。借助优化的电子束减速技术 ( BDT ) 使得低着陆电压下的成像能力进一步增强。MIRA3 有 LM、XM 和 GM三种优化几何设计的样品室尺寸可供选择，同时可选择高/低真空操作环境。

TESCAN 扫描电镜突出特点

配置高亮度肖特基电子枪，实现高分辨率，大束流及低噪声成像；
*的中间透镜（IML）技术和 Wide Field Optics™光路相配合，可提供多种工作和显示模式，如大视野模式和景深模式；
实时电子束追踪技术(In-Flight Beam Tracing™)可实现性能及电子束的实时优化，同时可直接控制电子束及束流的连续调节。电子束减速技术 ( BDT ) 在低电压下具有优异分辨率；
通过强大的 In-Beam 探测器可实现短工作距离下的优异成像（选配）；
所有的 MIRA3 仓室均配备优异的 5 轴全自动优中心样品台 (compucentric stage)同时拥有 EDS 和 EBSD 分析所需的理想几何结构设计；
可选配带有强大样品台的超大样品室（XM、GM），可检测大样品 (如6", 8", 12")晶圆；
优化几何设计的众多接口，可用于接入 EDS、WDS、EBSD 以及其他探测器；
可变真空模式适用于非导电样品研究；
多样可选择的减震方式可有效降低实验室环境振动的影响；
无畸变 EBSD 花样。

TESCAN 扫描电镜现代电子光路

·高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率/高电流/低噪音图像
·*的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作与显示模式
·*的中间镜的作用就如同软件“光阑转换器”，它以电磁方式有效地改变物镜光阑
·结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束
·可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像
·电镜的全自动设置
·成像速度快
·使用3维电子束技术，实时得到立体图像，三维导航
维修简单
现在保持电镜处在的状态很简单，只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率化，操作简化。
自动操作
设备的特点包括了自动设置和众多自动操作。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言（Python）可进入软件的大多数功能，包括显微镜的控制、样品台的控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。