设备尺寸：6900(W)×1150(H) ×1650(D) mm

设备总重：≈2500Kg
处理宽幅：520mm（Max）
安装卷径：300mm（Max）
电力需求：380V、3 相、5 线
额定功率：30KVA
等离子电源：20KVA、40KHz
气体输入：4路工艺气体 + 1路压缩空气
工艺气体控制：电磁阀 + MFC控制，0-1000SCCM
工艺气体供给：0.2-0.8MPa，＞5L/Min
工艺气体纯度：O2=99.99%；  Ar2=99.99%；

N2=99.99%；  CF4=99.999%；

压缩气体控制：电磁阀
压缩气体需求：除水除油除尘，0.4-0.8MPa
处理速度：0-5m/min（视使用情况而定）

设备组成

机架部分收放卷部分

采用气涨轴承载、收放物料；
采用变频器带动电机控制走料速度；
采用磁流体密封隔绝真空；
采用张力传感器探测张力大小；
采用磁粉离合器控制张力强度；
采用纠偏传感器检测物料位置及偏移量；
采用收卷纠偏一体式系统控制物料整齐度；
收放卷仓分别配置接料平台用于物料接驳；
放卷配置自动撕膜功能；
收卷配置自动覆膜功能。

等离子部分

20KVA，40KHz大功率等离子体电源；
中通冰水等离子体电极。

自动控制部分

欧姆龙PLC控制；
MCGS工业触摸屏操作。

气体控制部分

采用SNS调压阀调节气体压力；
采用CKD电磁阀控制气体通断；
采用Seven Star质量流量控制器控制气体流量。

真空控制部分

采用Han Bell螺杆泵+罗茨泵真空泵组；
采用MKS真空计探测真空度；
采用GD高真空挡板阀控制真空管道通断。

温度控制部分

采用冰水机控制真空腔室温度；
采用模温机控制真空腔室温度。