机台名称：真空等离子处理机
机台型号：PM80L
整机规格：8层 920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H）
电极规格：8层平板式电极板（420mm×360mm）
电源系统：1KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）
控制系统：触摸屏+PLC自动控制
进气系统：2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持
用 途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等等。
​1、摄像头、指纹识别行业：软硬结合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁。
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗
3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。

锂电池隔膜基体材料主要包括聚丙烯、聚乙烯材料和添加剂。隔膜所采用的基体材料的优劣在于电解液的浸润性和吸液保湿能力直接的联系，由于基体材料的本身特性，浸润性交差，需用相应的工艺来提高其亲水性，而低温等离子体处理技术恰能极大的提高隔膜基体材料的浸润性和电解液吸收能力。