产品型号

VTC-600-2HD-1000

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）
2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地
3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀
4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通风装置：需要

主要参数

1、输入电源：220V/50Hz
2、溅射靶数量：2
3、腔体内径：Ø300mm
4、靶枪冷却方式：水冷
5、极限真空度：7.4E-5pa
6、真空室规格：Φ300×330 mm
7、真空系统：VRD-16机械泵 FF-100/150涡轮分子泵
8、恢复真空：系统从大气抽至5.0E-3pa≤30 min（系统短时间暴露大气）
9、充气系统：2路质量流量计（１路氩气100scc、２路氩气200scc）特殊气体可定制
10、溅射靶规格：Φ2"，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）
11、样品台：Φ140mm/可旋转（1～20rpm）/可加热（室温～1000℃）

产品规格

主机尺寸：宽900mm×深650mm×高1100mm