产品型号

VTC-16-1HD

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）
2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地
3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀
4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通风装置：需要

主要参数

1、电源电压：220v  50Hz
2、功率：900W
3、腔体内径：φ164mm
4、极限真空度:9.0×10-4Pa
5、样品台加热温度：RT-500℃，精度±1℃（根据实际需要提升温度）
6、靶枪数量：1个（在真空室下方）
7、靶枪冷却方式:水冷
8、靶材尺寸：φ2〞，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）
9、样品台：φ86mm
10、样品台:1rpm-20rpm内可调。
11、直流溅射功率：500W；射频溅射功率：300W。
12、开关盖方式：自动升降上盖。
13、工作气体:Ar等惰性气体。
进气气路：质量流量计进气，1-100SCCM可调。

产品规格

14、产品规格：
·尺寸：
主机尺寸：750mm×450mm×1020mm
真空室规格：φ164×172mm
·重量：100kg

标准配件

1直流电源控制系统1套
2射频电源控制系统1套
3分子泵（德国进口或者国产更大抽速）1台
4冷水机1台
5冷却水管（Ø6mm）2根

可选配件

1、金、铟、银、白金等各种靶材，可选配强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。
2、膜厚检测系统。