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SAM Autotray 系列:SAM Auto Tray是专门为电子器件、电路板、IGBT和其他复杂部件的生产控制而开发的产品系列。该系统符合10级洁净室标准,主要应用包括验证缺陷,如:缝隙、气泡、孔洞、夹杂物、脱层区域、焊接或银烧结界面的厚度变化等,支持同时检查多个界面。
SAM Autowafer 系列:SAM 300 AutoWafer系列是专门为内联生产控制而开发的产品系列,符合100/1000级无尘室标准,该系统专为检测晶圆界面、晶圆键合、 MEMS 产品、或者混合粘合应用而设计,可用于检测空洞、夹杂物或分层或微空隙。多传感器配置可使得晶圆检测通过率高。
SAM 大视场扫描系统:SAM大视场系列是专门为分析DCB’s或电源模块而开发的产品系列,可支持检测扫描范围为300µm x 300µm到1300mm x 1300mm。多至8个传感器可实现超高检测通过率。该系统包括自动缺陷审查软件、GEM/SECS通讯,以及MES通讯。激光打标站和分类输出端口可供选择。