详细介绍

Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜

使用 SmartAlign 技术时，用户无需对电子束镜筒进行任何对中，这不仅能最大限度地减少维护，还能提高电镜生产率。

包括 Thermo Scientific 获得的 UC+（单色器）电子枪、ConstantPower 透镜和静电扫描，可实现准确稳定的成像。

Elstar Schottky 电子源单色器（UC+）FESEM 技术和性能，实现从 1 至 30 keV 的亚纳米级分辨率。

Verios 扫描电镜非常适合实验室计量应用，能够在高放大倍数下校准经 NIST 认证的标准品。

结合了先进的高灵敏度、镜筒内 & 透镜下探测器和信号过滤功能可实现低剂量操作和最佳衬度选择。

低至 20 eV 也可实现用于真正的表面表征的分辨率。

借助 AutoScript 4 软件，可选配基于 Python 的应用程序编程界面 (API)。

电子束分辨率	在 30 kV STEM 下 0.6 nm（可选）在 2-15 kV 下 0.6 nm 1 kV 时 0.7 nm 在 500 V 下 1.0 nm
标准检测器	ETD、TLD、MD、ICD、射束电流测量、Nav-Cam+、IR 摄像机
可选检测器	可选检测器 \| EDS、EBSD、RGB 阴极发光、拉曼、WDS 等
载物台偏倚（光束减速、可选）	标准配置包括高达 -4000 V
样品清洁	标配配置包括集成式等离子清洗装置
样品操纵	Verios 5 UC 5-轴电动共心载物台，配有 XYR 轴压电驱动。 XY 范围 150 x 150 mm2，70° 倾斜范围。通过门加载。	Verios 5 HP 已安装腔室，超稳定 5 轴所有压电驱动载物台。 XY 范围 100 x 100 mm2，70° 倾斜范围。通过自动负载锁加载。
腔室	379 mm 内径、21 个端口
软件选项	使用划分和拼接进行自动大面积采集的 Thermo Scientific Maps 软件；相关工作 Thermo Scientific AutoScript 4 软件；基于 Python 的应用程序编程界面图案生成软件 TopoMaps 用于图像彩色化、图像分析和 3D 表面重建

可从两种高精确稳定的压电陶瓷驱动样品台中进行选择。