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pharos310 电子束曝光系统
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代理商北京中科复华科技有限公司是一家致力于为半导体领域和微纳米科学领域提供综合性解决方案,为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供的半导体设备仪器和微纳米科学仪器,拥有一支经验丰富、技术过硬的技术团队。能够出色地完成售前、售中、售后的服务。 未来公司将不断和引进在微纳米科学领域中起重要作用的新仪器和新产品,同时也与全国各所的大学、学院和科研院所建立了良好的合作关系,致力于把具有市场前景的科研成果推向市场。愿与中、外同仁广泛合作, 为中国的教育与科研事业在广范围、高层次上提供服务。
加速电压:30Ke可选50Ke
电子束束流:10PA-200nA
单场尺寸:500μmX500μm
样品台:4英寸
样品台:采用激光干涉定位
样品台移动范围:100mm
最细线条:30nm
拼接精度:50nm
套刻精度:50nm