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DY-2000A 纳米通用图形发生器
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一种图形发生器,用于电子束、离子
束等带电粒子的曝光机,属于曝光机的图形
发生器硬件。本实用新型提供一种运算速度
快、接口简单、功耗低、功能多样的曝光机
用的图形发生器,它以高速数字信号处理器
为核心,通过通用串行总线接口 和上位机实现通讯,该图形发生器不仅可以满足以三角形,矩形和梯形为基本曝光单元图形的曝光格式,而且 增加了圆及圆环为具本曝光单元图形,解决了集成光栅器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本实用新型由接口电路、双端口存储器电路、数学信号处理器电路、数模转换电路、曝光标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元和束闸控制电路相互连接构。
曝光精度:100纳米