活性化退火设备PFS系列

PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中，配合使用的退火设备。可最大对应φ 150mm。

• 产品特性 / Product characteristics

• •最大可对应φ150mm基板

  •最大可加热2000℃

  •高真空对应

  •单批次25片一次性处理（也有5片处理机）

   

   

   

• 产品应用 / Product application

• •SiC功率器件用

  •研究开发

  •量产用

   

   

• 产品参数 / Product parameters

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• 关于公司

•  1、公司介绍

• 深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

• 公司主要业务如下:

• 装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

• 设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

• 厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

• 经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

• 2、成长历程

• •2020年（公司成立年）

• •2300万订单额

• 2021年 7000万订单额

• 2022年 2.5亿订单额

• 2023年3.2亿订单额