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SENTECH SILAYO PEARD系统
- 型号
- SENTECH SILAYO
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
主要功能与优势
PEALD 实现优良薄膜均匀性 < 1 %
SENTECH SILAYO 等离子体增强原子层沉积 （PEALD） 系统设计用于在大型 3D 物体和小基材批次上进行保形和均匀光学镀膜。SENTECH专有的平面三重螺旋天线（PTSA）为均匀的光学镀膜提供均匀的等离子体。
直径达 330 mm、高度达 100 mm 的样品
SENTECH SILAYO PEALD系统能够均匀包被直径达330 mm、垂直尺寸达100 mm的样品。
使用射频偏置进行应力控制
可选的射频偏置衬底电极允许修改层属性（例如应力和折射率）
SENTECH SILAYO PEALD 系统扩展了 SENTECH ALD 和 PEALD 产品组合，可在 330 mm 基板和 3D 基板上进行沉积。为了确保层厚具有出色的均匀性和保形性，PEALD用于沉积光学薄膜，例如，作为抗反射涂层或光学滤光片系统。SENTECH SILAYO在PEALD处理中利用了SENTECH平面三重螺旋天线（PTSA）电感耦合等离子体（ICP）源的优点。
灵活性和模块化
SENTECH SILAYO PEALD系统设计用于在大型和3D形状的基材上沉积材料，特别适用于对层性能要求高的光学镀膜，例如厚度和成分控制的高精度，光滑的表面和尖锐的界面，应力控制，特别是高厚度的多层堆叠，3D形状上的高均匀性和保形性，以及降低沉积温度以实现低损伤加工。
该系统可以选择配备SENTECH AL实时监测仪的专有技术，用于原位监测。
SENTECH SILAYO由优良的硬件和SENTECH SIA软件控制，具有客户端-服务器架构。一个经过充分验证的、可靠的可编程逻辑控制器（PLC）用于所有组件的实时控制。
