产品

GEN200 分子束外延MBE

Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统

Hesper Ⅱ E630R plus 12英寸减压选择性外延系统

Hesper E230A 12英寸单片常压硅外延系统

MBE 8000 分子束外延薄膜沉积系统

GEN2000 分子束外延MBE

Hesper I E430R 12英寸单片减压硅外延系统

MARS iCE115 碳化硅外延系统

MARS iCE120 多片碳化硅外延系统

Epiluvac ER3-C1 SiC分子外延系统

全金属密封磁控溅射靶枪

4/6英寸辐射式样品台系统

激光 分子束外延系统