OKSUN-PM120L系列等离子机台标准配置

机台名称:等离子体表面处理系统

机台型号:PM120L

机台用途:Ar2或O2或干燥Air等气体通入，不同组合用于不同工艺制造， 可用于玻璃、塑胶工件、金属基工件、陶瓷等工件表面改性，表  面清洁等工艺

一、技术参数

1.机台整机规格

1320(W)×1720(H)×1100(D)mm

2.真空室规格

进口铝 500(W)×500(H)×500(D)mm

3.电极板规格

铝电极 482(W)×402(D)mm

4.单层有效面积

432（W）×352（D）

5.真空电极结构

水平电极板8层

6.真空发生系统

机械旋片真空泵+罗茨泵

7.PLC自动控制系统硬件

工控可编程控制器及扩展模块(D/A转换、A/D转换）德国西门子

8.人机工控系统

触摸屏式全中文界面,MCGS

9.PLC及人机工程软件

奥坤鑫科技自主研发

10.真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计,日本爱发科

11.真空供气系统

Ф6品牌软管+不锈钢锁套管路,国产品牌

12真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管,自主

13破真空系统

气动高真空阀

14.气体控制系统

2路日本CKD电磁阀门,日本CKD

15.气体计量系统

2路MFC（气体质量流量计）精确控制流量：Ar O2/H2/SevenStar

16等离子发生器

等离子发生器0-5KW（可调）

17.其他组件

国内外元器件

二、技术指标

1.机台总重

约650kg

2.额定功率

额定功率 8KW

3.机台供电

三相五线式 AC-380V

4.腔体容积

进口铝 500(W)×500(H)×500(D)mm

5.电极板数量

水平电极8层

6.单层处理大面积

铝电极 432(W)×352(D)mm

7.单次处理时间

工艺不同，处理时间不同,表面活化改性5-10分钟内

8.工作真空度

20-100Pa

9.真空泵极限压力

5.0X10-1Pa

10.抽真空时间

≤120秒（空载测试）

11.破真空时间

≤30秒（空载测试）

12.等离子发生器功率

0-5KW（全自动匹配）

13.供气方式

高压瓶装气体14MPa,减压至0.3MPa

14.流量计调节范围

0-500sccm（毫升/分钟）可调

15.操作方式

人工取放工件，一键启动自动控制

16.其他

铝质前门进气套件