机台名称:等离子体表面处理系统

机台型号:PMT100A

机台用途:Ar2或O2或干燥Air等气体通入，不同组合用于不同工艺制造，可用于塑胶工件，金属基工件，陶瓷、玻璃等工件表面改性，表面清洁等工艺

一、技术参数

1、机台整机规格

600(W)×450(H)×550(D)mm

2、真空室规格

进口铝 200(W)×200(H)×250(D)mm

3、电极板规格

铝电极 150(L)×120(W)mm

4、真空电极结构

水平电极板 2层

5、真空泵系统

双极机械旋片真空泵

6、PLC自动控制系统硬件

工控可编程控制器及扩展模块(D/A转换、A/D转换）德国西门子

7、人机工控系统

触摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人机工程软件

奥坤鑫科技自主研发

9、真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计，日本ULVAC

10、真空供气系统

Ф6品牌软管

11、真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管

12、破真空系统

电磁阀式/气动阀，日本CKD

13、气体控制系统

电磁阀控制

14、气体计量系统

一路浮子可调流量计

15、等离子发生器

等离子发生器 13.56MHz，OKSUN

16、其他组件

国内外元器件

二、技术指标

1、机台总重

约40kg

2、额定功率

额定功率 1KW

3、机台供电

 AC-220V

4、腔体容积

进口铝 200(W)×200(H)×250(D)mm

5、电极板数量

水平电极2层，极板间距：60mm

6、单层处理大面积

铝电极 150(L)×150(W)mm

7、单次处理时间

工艺不同，处理时间不同,表面活化改性2-10分钟内

8、工作真空度

20-60Pa

9、真空泵极限压力

4.0X10-2Pa

10、抽真空时间

≤60秒

11、破真空时间

≤30秒

12、等离子发生器功率

等离子发生器0-500W可调

13、供气方式

电磁阀式

14、流量计调节范围

0.6-6L/m（升/分钟）

15、操作方式

人工取放工件，一键启动自动控制