技术参数

1、机台整机规格

750(W)×550(H)×650(D)mm

2、真空室规格

进口铝 350(W)×300(H)×400(D)mm

3、电极板规格

铝电极 330(W)×315(D)mm

4、真空电极结构

水平电极板 6层

5、真空泵系统

OKSUN机械旋片真空泵/爱德华干式真空泵

6、PLC自动控制系统硬件

工控可编程控制器及扩展模块(D/A转换、A/D转换）德国西门子

7、人机工控系统

触摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人机工程软件

奥坤鑫科技自主研发

9、真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计，日本爱发科

10、真空供气系统

Ф6品牌软管，国产品牌

11、真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管，国产

12破真空系统

电磁阀式，日本

13、气体控制系统

电磁阀控制，日本

14、气体计量系统

精确质量流量控制计：MFC，SevenStar

15、等离子发生器

0-500w连续可调（13.56MHz）、OKSUN

16、其他组件

国内外元器件

1、机台总重

约40kg

2、额定功率

额定功率 1KW

3、机台供电

AC-380V

4、腔体容积

进口铝 350(W)×300(H)×400(D)mm

5、电极板数量

水平电极6层

6、单层处理大面积

330(W)×315(D)mm

7、单次处理时间

工艺不同，处理时间不同,表面活化改性5-10分钟内

8、工作真空度

20-50Pa

9、真空泵极限压力

5.0X10-1Pa

10、抽真空时间

≤60秒（空载测试）

11、破真空时间

＜40秒（空载测试）

12、等离子发生器功率

0-500W, 全自动匹配

13、供气方式

电磁阀式

14、流量计调节范围

0-300sccm（毫升/分钟）

15、操作方式

人工取放工件，一键启动自动控制