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1. 尺寸 | 《W》160mm × 《L》460mm × 《H》170mm |
2. 重量 | 重量..................... 约4.3kg |
3. 外部 | 电极主体................... 铝块结构 水平..................... 铝块结构 表面...................... SUS304板材 气体控制器............... Φ10mm(快插式管接头),1个端1口 |
4. 附件 | 排气..................... JIS50A(Φ60.5)SUS管(1个端口) 等离子处理区域.... 308mm |
气体控制器
1. 电流 | GPS电源.................. 50A 1Φ AC220(V±10%),50/60Hz UPS电源.................. 2A 1Φ AC220V,50/60Hz |
2. PN2（ 高纯氮） | 气压 ....................... 0.4~0.6MPa 气流..................... 大值 500L/min 接口...................... Φ 10mm(快插式管接头),1个端口 |
3. CDA | 气压 ....................... 0.4~0.6MPa 气流...................... max 10L/min 接口...................... Φ 10mm(快插式管接头),1个端口 |
4. 气体控制器尺寸 | 《W》365mm × 《L》504mm × 《H》153mm |
5. 其提供给单位 | 电磁阀 |
电源装置
1. 型号 | APP-HP |
2. 电源输入功率 | 额定电压.................. GPS : 20A 1Φ AC220V , 50 /60Hz UPS : 2A 1 Φ AC220V 50/ 60Hz |
3. 电源输出功率 | 可变装置电压............... 5~12kV 推荐使用电压............... 7~9kV |
4. 大功率 | 2kW |
5. 电源冷却方式 | 空气冷却 |
6. 重量 | 35Kg |
7. 控制方式 | 电压调节方式 |
8. 接口模式 | 本地或 PLC 远程模式 |
9. 显示 | VFD 显示屏 |
10. 外观 | 米黄色, 绝缘图章 |
11. 外形尺寸 | 《W》580mm × 《L》480mm × 《H》231mm |
12. 地接方式 | 1 种 地接方式 10Sq 以上 (10Ω一下, 独立地接) |
13. 工作温度 | 5℃ 至 + 35℃ (入口侧标准) |
14. 湿度 | 15% ~ 85% (相对湿度) |
15. HV 电缆 | 2 种 silicone（ 硅有机树脂 ）绝缘电缆 |
