机台型号：OKSUN-PM17A 

整机规格：2000(W)×1500(D)×1960(H)  mm

电极规格：17层平板式电极板（944W×790 D mm  (28W ×24D in)）

电源系统：10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）

控制系统：PC工控系统+PLC自动控制

进气系统：2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、

特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持

用 途：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。

2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗

3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化