1. 尺寸

《W》160mm × 《L》552mm × 《H》170mm

2. 重量

重量..................... 约4.2kg

3. 外部

电极主体................... 铝块结构

水平...................... 铝块结构

表面....................... SUS304板材

气体控制器............... Φ10mm(快插式管接头),1个端1口

4. 附件

排气..................... JIS50A(Φ 60.5)SUS管(1个端口)

等离子处理区域.... 400mm

1. 电流

GPS电源.................. 50A 1Φ AC220(V±10%),50/60Hz

UPS电源.................. 2A 1Φ AC220V,50/60Hz

2. PN2（ 高纯氮）

气压...................... 0.4~0.7MPa

气流..................... 大值 500L/min

接口...................... Φ 10mm(快插式管接头),1个端口

3. CDA

气压...................... 0.4~0.7MPa

气流...................... max 10L/min

接口...................... Φ 10mm(快插式管接头),1个端口

4. 气体控制器尺寸

《W》365mm × 《L》504mm × 《H》153mm

5. 其提供给单位

电磁阀

1. 型号

APP-HP

2. 电源输入功率

额定电压................... GPS : 20A 1Φ AC220V , 50 /60Hz

UPS : 2A 1 Φ AC220V 50/ 60Hz

3. 电源输出功率

可变装置电压................ 5~12kV

推荐使用电压................ 7~9kV

4. 大功率

2kW

5. 电源冷却方式

空气冷却

6. 重量

35Kg

7. 控制方式

电压调节方式

8. 接口模式

本地或 PLC 远程模式

9. 显示

VFD 显示屏

10. 外观

米黄色, 绝缘图章

11. 外形尺寸

《W》580mm × 《L》480mm × 《H》231mm

12. 地接方式

1 种 地接方式 10Sq 以上 (10Ω 一下, 独立地接)

13. 工作温度

5℃ 至 + 35℃ (入口侧标准)

14. 湿度

15% ~ 85% (相对湿度)

15. HV 电缆

2 种 silicone（ 硅有机树脂 ）绝缘电缆