技术参数

1、机台整机规格

2120(W)×1800(D)×2000H)  mm

2、真空室规格

进口合金铝1140(W)×1500（D)×1130(H)   mm

3、电极板规格

进口美铝950H×1230D mm

4、真空电极结构

垂直电极板16层，可处理15层工件

5、真空泵系统

Hanbell干式真空机组

6、真空测定系统

高精密薄膜硅真空计

7、真空供气系统

Ф6全不锈钢管+不锈钢锁套管路

8、真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管

9、破真空系统

倒计时自动开合启动

10、PLC自动控制系统

德国西门子200SMART-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制）

11、人机工控系统

MCGS触屏工控电脑

12、变频控制系统

德国SIEMENS，PID闭环控制，真空度可维持

13、机台冷却系统

SKYTECK冰水机水冷，采用内部独立中通冰水循环冷却系统

14、温度控制系统

德国西门子200SMART温度传感模块，PID闭环控制，作业过程温度可控

15、冰水机

国产品牌5.0P

16、输入气压监测系统

5路 日本SMC自动报警气压表（带过滤装置）

17、气体控制系统

5路 日本SMC电磁阀门

18、气体计量系统

SevenStar- MFC气体质量流量计精确控制流量

19、等离子发生器

额定功率：0-20KW,全自动匹配

20、其他组件

国内外元器件

机台*之条件

1、压缩空气要求

0.6～0.8MPa

2、循环冷却水用量

3～7 SLM

3、抽风系统

≥2立方/分钟，中央尾气处理管道即可

技术指标

1、机台总重

约2500KG

2、额定功率

额定功率45KW

3、机台供电

三相五线式 AC 380V  50/60Hz

4、腔体容积

1140(W)×1500（D)×1130(H)    mm

5、电极板数量

垂直极板16层

6、处理层数及托架

15层

7、单层处理大面积

950(H)×1230(D )mm

8、单次处理总面积

约7M2

9、单次处理时间

10-60分钟不等（根据产品特征，时间设定不同）

10、工作真空度

0.15～0.3Torr （可根据要求设定，可恒定真空度）

11、泵可抽极限压力

4.0X10-1Torr

12、抽真空时间

≤180秒

13、破真空时间

≤60秒

14、等离子发生器功率

额定功率20KW；0-20KW自动设定调节，全自动匹配

15、等离子发生器频率

40KHz±100Hz

16、供气方式

高压瓶装气体14MPa，减压至0.1-0.3MPa

17、流量计调节范围

0-1000毫升/分钟，0-3000毫升/分钟；全自动调节

18、温度控制调节范围

5匹速冷，30-85℃可调