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日本ULVAC爱发科半导体卧式热处理设备
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日本ULVAC爱发科半导体小型冻结真空干燥
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日本ULVAC爱发科半导体兼容高能离子注入机
面议日本进口ULVAC爱发科油回转小型真空泵
日本进口ULVAC爱发科油回转小型真空泵
采用水冷和强制润滑系统，
即使在高负荷运行时也能满足气缸的供油，与压差润滑系统相比，提供更稳定的排气性能。
液压油防吸系统
可防止泵停止时油从油箱回流至吸入侧。
考虑到维护的设计
除了采用大型油位计可以轻松监控油况外，还配有维护盖，用于清洁油箱、更换排气阀等。
光学薄膜沉积设备
反射器沉积设备
装饰气相沉积设备
薄膜卷绕气相沉积设备
在线溅射设备
烘烤炉/热处理炉
冷冻干燥设备
泄漏测试设备
空间室
| 模型 | VS1501 | VS2401 | |||
| 设计抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时（升/分钟） | 150 (2500) | 240 (4000) | |
| 60赫兹 | 180 (3000) | 288 (4800) | |||
| 极限压力 | 全科医生关闭 | 帕 | ≤5.3 | ||
| 全科医生开幕 | ≤80 | ||||
| 功耗（极限压力） | 50赫兹 | 千瓦 | 2.3 | 2.8 | |
| 60赫兹 | 2.9 | 3.6 | |||
| 发动机 | 模型 | 全封闭外风扇式三相异步电动机 | |||
| 容量 | 千瓦（极） | 5.5 (4) | 7.5(4) | ||
| 电压 | 50赫兹 | V | 200～240 / 380～415 | ||
| 60赫兹 | 200～240 / 380～460 | ||||
| 噪音值*1（极限压力时） | 50赫兹 | 分贝 | 67 | 73 | |
| 60赫兹 | 67 | 73 | |||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | ||||
| 所需油量 | L | 8～10.5 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||
| 冷却水 | 一次压力 | 兆帕G | ≤0.5 | ||
| 入口/出口压差 | ≧0.1 | ||||
| 冷却水量 | 升/分钟 | ≧4.0 | ≧5.0 | ||
| 冷却水温度 | ℃ | 5～30 | |||
| 冷却水量Δt | ≤10 | ||||
| 进气法兰 | 相当于VG80 | ||||
| 排气法兰 | 相当于VF50 | ||||
| 大量的 | 千克 | 第232章 | 第271章 | ||
| 外形尺寸 宽×深×高 | 毫米 | 300×941×460 | 333×1061×460 | ||
| 海外安全标准 | - | ||||
