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日本ULVAC爱发科半导体卧式热处理设备
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面议日本ULVAC爱发科进口油回转真空泵
日本ULVAC爱发科进口油回转真空泵
设计紧凑，同类产品中占地面积最小□874 x 404 mm。
机械增压泵 (MBP) 可以
使用 MBP 安装套件直接安装，无需支架即可安装 MBP。
它还具有内置油回收机构，内置油雾分离器。
防止油泄漏到外部的结构。
两级结构包括油封和屏蔽轴承，以防止油泄漏到外部。
配备原装IE3高效多电压电机，
单电机可应对宽电压范围。
光学薄膜沉积设备
反射器沉积设备
装饰气相沉积设备
薄膜卷绕气相沉积设备
在线溅射设备
烘烤炉/热处理炉
冻结干燥装置
泄漏测试设备
空间室
| 模型 | VS300A-W | |||
| 设计抽速 | 50赫兹 | 米3 /小时（升/分钟） | 250（4,166） | |
| 60赫兹 | 300（5,000） | |||
| 到达圧力*１ | GP闭 | 出色地 | ≦15 | |
| GP开 | ≦200 | |||
| 功耗（极限压力） | 50赫兹 | 千瓦 | 2.8 | |
| 60赫兹 | 3.1 | |||
| 发动机 | 模型 | 全封闭外风扇式三相异步电动机 | ||
| 容量 | 千瓦（极） | 7.5（４） | ||
| 电压 | 50赫兹 | V | 200～240 / 380～415 | |
| 60赫兹 | 200～240 / 380～460 | |||
| 噪音值*2（极限压力时） | 50赫兹 | 分贝 | 70 | |
| 60赫兹 | 74 | |||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||
| 所要油量 | 大号 | 10～15 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | |||
| 冷却水 | 一次压力 | 兆帕G | ≦0.3 | |
| 入口/出口压差 | ≧0.1 | |||
| 冷却水量 | 升/分钟 | ≧3.0 | ||
| 冷却水温度 | ℃ | 5～30 | ||
| 冷却水Δｔ | ≦25 | |||
| 进气法兰 | DN 63 ISO-F | |||
| 排气法兰 | G2 | |||
| 质量 | 公斤 | 270 | ||
| 外形尺寸 宽×深×高 | 毫米 | 404×871×585 | ||
| 海外安全规格 | CE、cTUVus | |||
注：本文件使用 SI 单位制。
*1 在极限压力下发生缓慢泄漏（GP 关闭）。当缓漏阀关闭时，压力变为≤8Pa。
*2 根据ISO2151测量和计算的平均声压级。
