KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2 RF Generator是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK Series 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。KYOSAN JFK系列射频电源可以实现对射频输出的精准控制，可以在一定程度上提高产线效率和产品良率。

KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2 RF Generator 参数规格

设备品牌：KYOSAN

设备型号：JFK125TP-TC2

AC 电源输入：200~208V，3 phase~+G，60A，50/60Hz

RF 射频输出：3.2MHz，12.5KW（cw），20KW（PEAK）

通讯接口：Analog I/F，Debug，Device Net

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：水冷流量 8L/min

设备重量：45kg