DAIHEN 射频电源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW RF Generator 是经过现场长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源，在实际运行过程中表现出了优良性能和可靠性。DAIHEN NX-RGA 系列射频电源具有优秀的成膜能力，成膜速度快，因此被广泛的应用在半导体制程的薄膜工艺中。该型射频电源设备具有稳定的射频输出和精准控制能力，主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。

DAIHEN 射频电源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW 参数规格

设备品牌：DAIHEN

设备型号：NX-RGA-50G1

AC 电源输入：3 phase~ ，180~242V，37A，50/60Hz                                                                                          

RF 射频输出：13.56MHz，5000W

通讯接口：DI/O I/F I/L，Maintenance，Display，Pulse Out

设备散热：水冷散热

水冷进水要求：MAX Torque 30N·m

设备重量：60kg