MKS Spectrum B-5002MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
MKS/美国 品牌
经销商厂商性质
扬州市所在地
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面议MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz 5000W RF Generator 是经过现场长期验证的具有优良性能和高可靠性的射频发生器，在实际运用中展现出了优秀的工艺稳定性和控制能力。MKS Spectrum系列射频电源广泛应用在半导体制程中的薄膜工艺中，该系列射频电源的优良成膜能力使其在CVD、PECVD、溅射等制程工艺中成膜速度快，能够提升产线效率，此外其精准的射频控制能力对产线产品良率提升也有一定的帮助。
MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz 5000W RF Generator 参数规格
设备品牌：MKS
设备型号：Spectrum B-5002
AC 电源输入：3 phase~ /PE，200~208V，30A，50/60Hz
RF 射频输出：1.8~2.17MHz，5KW
通讯接口：RS-232C Interface，POD Interface，External Interlock
设备散热：风冷+水冷散热
水冷进水水温：MAX 35℃
水冷进水流量：MIN 2 GAL/min（7.6 L/min）
水冷进水水压：MAX 60PSI（414kPa）
设备重量：25.9kg（57lbs）
