AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator是经过现场长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源。AE RFG 系列射频电源具有优良的成膜能力，成膜速度快，被广泛应用在CVD、PVD、PECVD等半导体制程薄膜工艺中。该型号射频电源能够实现对射频输出的精准控制，能够减少损耗提高能源效益，一定程度上可以提高产线效率和产品良率。设备整体采用紧凑型的设计风格，小巧紧凑，占用空间小，能够降低客户的使用成本。

AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：RFG 1251                                                                                                                                          

AC 电源输入：3 phase~/PE，~208V，50/60Hz，2.4kW

RF 射频输出：13.56MHz，250V~，1250W

通信接口：Control，CEX In/Out

设备散热：水冷散热

水冷进水要求：MAX进水水压 5.17Bar/517kPa