AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性和优良性能的射频电源，在实际运行中展现出了优秀的工艺稳定性和控制能力。该款射频电源主要采用了紧凑的外观设计，整体小巧便捷，占用空间小，能够降低客户的使用成本。AE RFG系列射频电源具有良好的成膜能力，能够快速成膜，被广泛的应用在半导体制程的薄膜工艺中，CVD、PVD、PECVD、溅射、蚀刻均有应用。RFG 2000-2V，加上它相关的固定匹配网络(MFA)，是一种传统的AE 13.56 MHz射频发生器，具有定制的腔室安装和紧密的机械包络。

AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：RFG 2000-2V                                                                                                    

AC 电源输入：3 phase~ ，208V~，50/60Hz，20A

RF 射频输出：3000W，13.56MHz

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：MAX进水水压6.9 Bars/69kPa