AE 射频电源 RFG 5500  MN3155051-015
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AE RFG 5500AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-22 17:27:40
498
属性:
供货周期:现货;货号:3155051-015;应用领域:电子,电气,综合;主要用途:RF GENERATOR;品牌:AE;型号:RFG?5500;MN:3155051-015;PN:27-115617-00;输出功率:5000W;频率:13.56MHz;状态:Refurbished;
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产品属性
供货周期
现货
货号
3155051-015
应用领域
电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
品牌
AE
型号
RFG?5500
MN
3155051-015
PN
27-115617-00
输出功率
5000W
频率
13.56MHz
状态
Refurbished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015 是广泛应用在半导体制造中的高效稳定射频电源。

详细介绍

AE 射频电源 RFG 5500  MN3155051-015, 5000W 13.56MHz, ASIS, available, in good condition, can ship. PN:27-115617-00; MN:3155051-015。

AE 射频电源 RFG 5500  MN3155051-015是经过长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源,能够实现对射频输出的精准控制,在半导体溅射、蚀刻、CVD、PECVD等制程工艺中具有优良表现。AE RFG 系列射频电源具有优秀的工艺稳定性和射频控制能力,能够实现对射频输出的精准控制。RFG 系列射频电源具有良好的成膜能力,成膜速度快,效率高,在半导体制程薄膜工艺中具有广泛应用,能够在一定程度上的提高产线效率和产品良率。该型射频电源整体采用了紧凑设计,小巧便捷,能够降低客户的使用成本。


RFG 5500参数规格

设备品牌:AE (Advanced Energy)

设备型号:RFG 5500

AC 电源输入:~208V,3 phase~,50/60Hz,10.0kW

RF 射频输出:13.56MHz,5000W

设备散热:水冷散热



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