DAIHEN 射频电源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW RF Generator 是经过现场长期验证的输出稳定能力且性能可靠的射频电源，具有优良的工艺稳定性和控制能力。DAIHEN NX-RGA 系列射频电源由于其良好的成膜能力，被广泛运用在半导体制程的薄膜工艺中，RGA系列射频电源成膜速度快，可以实现对射频输出的精准控制，能够减少能源损耗，提高产线效率和产品良率。该型射频电源主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。

DAIHEN 射频电源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW 参数规格

设备品牌：DAIHEN

设备型号：NX-RGA-10G                                                                                                                  

AC 电源输入：3 phase~ ，180~242V ，37A，50/60Hz

RF 射频输出：13.56MHz，1000W

通讯接口：DeviceNet，DI/O I/F I/L，Maintenance，Display

设备散热：风冷+水冷散热

水冷进水要求：MAX Torque 30N·m

设备重量：60kg