AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源，能够实现对射频输出的精准控制，在半导体溅射、蚀刻、CVD、PECVD等制程工艺中具有优良表现。AE RFG 系列射频电源具有优秀的工艺稳定性和射频控制能力，能够实现对射频输出的精准控制。RFG 系列射频电源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半导体制程薄膜工艺中具有广泛应用，能够在一定程度上的提高产线效率和产品良率。该型射频电源整体采用了紧凑设计，小巧便捷，能够降低客户的使用成本。

AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：RFG 3001                                                                                    

AC 电源输入：3 phase~ ，~208V/PE，50/60Hz

RF 射频输出：13.56MHz，3000W，387V~

通讯接口：Control，CEX

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：MAX 进水压力 6.9Bar/690kPa