产品

KS-CM300/200 单片式化学清洗机

KS-S300-SR 单片清洗机

ULHITETM NE-7800H 高密度等离子刻蚀装置

NLD-570 NLD干法刻蚀设备

APIOS NE-950EX 干法刻蚀设备

NLD-5700 干法刻蚀装置

UC100-SE 紫外臭氧清洗机

EIS-200ERP 离子束刻蚀机

EIS-1500 离子束刻蚀机

80 Plus 条形等离子清洁系统

PT500 等离子清洗机

PlasmaPro 100 Polaris 单晶圆刻蚀系统

GIGAbatch 批量晶圆处理等离子系统

PlasmaPro 100 Cobra ICP 电感耦合等离子体刻蚀

KS-S300-E 单片湿法刻蚀机

PTP-300 等离子清洗和加热机