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RIE-350iPC 等离子体（ICP）刻蚀设备

SENTECH SI 500 C 低温ICP-RIE等离子体刻蚀系统

LMEC-300 12英寸特种金属膜层刻蚀设备

Pangea® A 系列 12英寸离子束塑形（IBS) 设备

RIE-200NL RIE等离子刻蚀系统

Lorem® A 系列 8英寸离子束塑形（IBS）设备