AE 射频电源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW
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AE HFV-8000AE 射频电源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-24 11:46:54
659
属性：
供货周期:现货；货号:3155083-111；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；型号:HFV?8000；M/N:3155083-111；P/N:0190-09841-004；频率:1.765-2.165MHz；输出功率:5000W；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
3155083-111
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
型号
HFV?8000
M/N
3155083-111
P/N
0190-09841-004
频率
1.765-2.165MHz
输出功率
5000W
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

AE 射频电源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW主要用作200和300mm晶圆制程、平板显示器和DVD设备的等离子发生器，为离子化物理气相沉积（IPVD）、CVD和蚀刻提供了工艺一致性。

详细介绍

AE 射频电源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW RF Generator 是经过长期现场验证具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源。AE HFV Series 射频电源的特点有数字合成变频输出和微处理器控制，输出功率为3KW、5KW 和 8 KW。此外，该系列电源设备输出频率范围为1.765-2.165 MHz。固件上的频率调谐参数可进行定制，以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。

AE 射频电源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：HFV-8000

AC 电源输入：3 phase~ +PE，400~480V，50/60Hz，11kW

RF 电源输出：1.765~2.165MHz，5000W，640V

通讯接口：Generator User

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：MAX进水水压 75PSI，5.2kPa（5.2Bars）

AE HFV-8000 优点

1.提高了 run-to-run 准确性

2.具有通用性

3.提高了可靠性

4.增强了工艺灵活性

5.降低了持有成本

AE HFV-8000 特点

1.可定制的频率调谐参数

2.输出频率范围为1.765-2.165 MHz

3.有3kW、5kW和8 kW 的输出功率

4.数字合成频率输出

5.微处理器控制




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