cito-1370-WC7B-P37A-FFCOMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW
COMET 品牌
经销商厂商性质
扬州市所在地
AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
面议AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
面议AE 射频电源 Paramount MF 15002 15KW
面议AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW
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面议MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
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面议AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
面议KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2
面议COMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW RF Generator 可提供优秀的脉冲品质,稳定性及功率投射准确性,使其不仅对于非半导体的应用,同时对于如等离子沉积及蚀刻等的半导体类应用来说也是可靠的选择。COMET cito Series 可以长时间稳定运行,故障率低,能够在提高产能的同时降低运行成本。
COMET cito Series 高频射频电源 优点
1.具有更好的等离子稳定性,可确保工艺的重复性
2.具有高筑波比的理想脉冲波形
3.具有更精确的功率输出,可对等离子工艺进行更精确的控制
4.对于电缆长度的低敏感性可使其更易于与设备整合
5.具有更高的工作效率及更低的使用成本
COMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW 射频发生器 规格
型号:cito-1370-WC7B-P37A-FF
AC输入:400~480V,3phase,50/60Hz,3x22A @400V
RF输出:7000W,13.56MHz,837V,50 Ohm
通信接口:RS232,Ethernet,DB25 Analog/Digital,9-pin matching bus
安装机架:标准19英寸机架装配