射频电源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW
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射频电源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW

MKS Spectrum 11002射频电源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-23 13:11:44
364
属性：
供货周期:现货；货号:SPEC 11002-10235；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；品牌:MKS；型号:Spectrum?11002；M/N:SPEC?11002-10235；P/N:660-080455-300；频率:1.8-2.17MHz；输出功率:11000W；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
SPEC 11002-10235
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
品牌
MKS
型号
Spectrum?11002
M/N
SPEC?11002-10235
P/N
660-080455-300
频率
1.8-2.17MHz
输出功率
11000W
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

射频电源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW 是一款紧凑、轻量级的射频产品，具有各种用户界面和功能，包括自动频率调谐、快速瞬态恢复和脉冲。

详细介绍

MKS 射频电源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW Spectrum RF Generator 射频发生器是MKS的一款新型射频发生器平台，可提供1.5kW ~ 11kW的各种频率功率，以满足半导体行业薄膜加工日益增长的需求。高可靠性的设计确保了设备改进后的工艺性能和良率。MKS Spectrum Series 设备功率控制精确，响应时间快，热稳定性好，精度高。MKS Spectrum 系列射频电源具有优秀的工艺稳定性，精准的控制能力和优良可靠的成膜能力，成膜速度快，在半导体制程薄膜工艺中被广泛应用。

MKS 射频电源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW Spectrum 技术参数

AC 电源输入：200 ~ 208V，3 phase ~，60A，50/60Hz

RF 射频输出：8500W（Max.），1.8 ~ 2.17MHz

电机扭力：8.5 ~ 10.0 LB. FT.   120 ~ 140 KGF/CM

散热方式：水冷散热

水冷进水需求：水流（Min.）11.4L/Min（3GAL/Min）

水冷水温：＋35℃（Max.）

进水水压：60 PSI / 414 kPa（Max.）

通信接口：POD / RS -232

设备重量：57kg （125lbs）


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